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ST高溫加熱套安裝現(xiàn)場/加熱套

在半導(dǎo)體集成電路制造中，有許多加工工序在高溫的真空室內(nèi)進(jìn)行，在這種環(huán)境下，產(chǎn)生的廢料都是直接升華成氣相經(jīng)真空管路排放。如果在排放過程中，溫度下降太多，這些氣體就可沉降聚集在管路或者各種閥門上，如果不及時**這些沉積物，就會增加晶片質(zhì)量缺陷，降低真空系統(tǒng)效率。
針對這種情況我公司把本公司生產(chǎn)的隔熱、加熱產(chǎn)品進(jìn)行整合來對管路及閥門進(jìn)行溫度的維持。根據(jù)客戶的要求及管路形狀進(jìn)行量身定做。
ST高溫加熱套安裝現(xiàn)場/加熱套主要由四層組成，分別為加熱層、內(nèi)襯、保溫層、外保護(hù)層，我們通過在加熱層里面設(shè)置溫度傳感器（PT100）、熱敏保護(hù)裝置通過信號線連接至電路控制箱上的溫調(diào)器來控制加熱套的工作溫度。
柔性加熱套剖面圖

1）加熱層
技術(shù)介紹：加熱層主要由電熱絲通電產(chǎn)生熱量。
電熱絲技術(shù)指標(biāo)：工作溫度范圍：-40℃～+1000℃
規(guī)格：f≤1mm
絕緣體：耐高溫?zé)o堿玻纖布
發(fā)熱材料：鎳合金
試驗電壓：220V
特長：電氣絕緣強(qiáng)度高具備良好的熱傳導(dǎo)性
其他：功率可根據(jù)要求設(shè)計生產(chǎn)
2）內(nèi)襯
ST高溫加熱套安裝現(xiàn)場/加熱套技術(shù)介紹：內(nèi)襯層主要用于固定電熱絲并且起到良好的絕緣效果。
無堿玻璃纖維布技術(shù)指標(biāo)：成分：無堿玻璃纖維
工作溫度：0℃～+550℃
厚度：0.43mm
特長：絕緣強(qiáng)度高，柔韌性好。
3）保溫層
技術(shù)介紹：主要作用于電熱絲和外表面的隔熱效果。
玻璃纖維針刺氈技術(shù)指標(biāo) 厚度：3~25mm
寬度：1050~2000mm
密度：110~180kg/m2
耐熱溫度：600℃（熱收縮650℃）
導(dǎo)熱系數(shù)：0.042W/m.k（300℃平均值）
吸濕率：＜5%
4）外保護(hù)層
ST高溫加熱套安裝現(xiàn)場/加熱套技術(shù)介紹：主要用于美觀隔熱，絕緣，耐酸堿性好。
特氟龍耐高溫布 厚度：0.05-0.6（mm）
長期耐溫：-70℃～+280℃
短期耐溫：+320℃
表機(jī)摩擦系數(shù)：0.05-0.1，介電常數(shù)小,絕緣性好
耐腐蝕性好，耐各種強(qiáng)酸，堿，鹽和有機(jī)溶劑等化學(xué)藥品的腐蝕

 

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